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标题
Electrodeposition of Platinum Group Metals for Interconnects Beyond 5nm Technology Node
相关领域
钌 铂金 材料科学 铜 电迁移 成核 无机化学 化学工程 过电位 冶金 化学 复合材料 电极 物理化学 催化作用 电化学 生物化学 工程类 有机化学
网址
https://doi.org/10.1149/ma2021-0124934mtgabs
DOI
10.1149/ma2021-0124934mtgabs doi
其它 期刊：Meeting abstracts
作者：Adele Pacquette; E. J. O’Sullivan; Mahadevaiyer Krishnan
出版日期：2021-05-30
求助人
ZHAOBING 在 2025-10-05 21:28:10 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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