Surrogate-assisted genetic algorithm for efficient resist calibration

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标题	Surrogate-assisted genetic algorithm for efficient resist calibration
网址	https://doi.org/10.1007/s11465-025-0850-6
DOI	10.1007/s11465-025-0850-6 doi
其它	期刊：Frontiers of Mechanical Engineering 作者：Chunxiao Mu; Cheng Lei; Zhiyang Song; Shaopeng Guo; Ke Li; et al 出版日期：2025-09-17
求助人	LIU 在 2025-11-07 22:15:42 发布自美国，悬赏 10 积分
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