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OPC strategies to reduce failure rates with rigorous resist model stochastic simulations in EUVL
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网址
https://doi.org/10.1117/12.2515124
DOI
10.1117/12.2515124 doi
其它 期刊：
作者：Alessandro Vaglio Pret; Trey Graves; David Blankenship; Stewart A. Robertson; Patrick Lee; et al
出版日期：2019-03-14
求助人
毛聋聋 在 2025-10-27 10:07:31 发布自海南，悬赏 20 积分
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