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 Numerical Simulation of the Transport of Gas Species in the PVT Growth of Single‐Crystal SiC 单晶SiC PVT生长过程中气体物质输运的数值模拟
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期刊：Crystal Research and Technology 作者：Binjie Xu; Xuefeng Han; Suocheng Xu; Deren Yang; Xiaodong Pi 出版日期：2024-05-30 |
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