High performance Si immersion gratings patterned with electron beam lithography

已完结

文献求助详情

标题	High performance Si immersion gratings patterned with electron beam lithography 电子束光刻制作高性能硅浸没式光栅相关领域浸没式光刻电子束光刻材料科学平版印刷术光电子学下一代光刻抵抗极紫外光刻阴极射线模版印刷沉浸式（数学） X射线光刻光学电子纳米技术物理图层（电子）数学量子力学纯数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2056912
DOI	10.1117/12.2056912 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Michael Gully-Santiago; D. T. Jaffe; Cynthia B. Brooks; Daniel W. Wilson; Richard E. Muller 出版日期：2014-07-28
求助人	垃圾制造机在 2025-09-21 20:38:08 发布自江苏，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 传奇3上传了应助文件

19秒前; clearsky上传了应助文件

20秒前; 领导范儿上传了应助文件

1分钟前; clearsky的应助被千百年来的追逐采纳，获得10

1分钟前; 多边棱发布了新的文献求助10

1分钟前; clearsky上传了应助文件

1分钟前; 碗碗完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6上传了应助文件

2分钟前; Lucas的应助被yzbbb采纳，获得10

2分钟前; 量子星尘发布了新的文献求助10

2分钟前; Lucas上传了应助文件

2分钟前; yzbbb发布了新的文献求助10

2分钟前; clearsky上传了应助文件

3分钟前; arsenal发布了新的文献求助10

3分钟前; 精明凡双的应助被科研通管家采纳，获得20

3分钟前; 艺_完成签到，获得积分10

4分钟前; 懒得取名字完成签到，获得积分10

4分钟前; 李爱国上传了应助文件

4分钟前; 懒得取名字发布了新的文献求助10

4分钟前; 科研通AI6上传了应助文件

4分钟前; 随机科研完成签到，获得积分20

4分钟前; 苏梗完成签到，获得积分10

4分钟前; 量子星尘发布了新的文献求助10

4分钟前; 完美世界上传了应助文件

4分钟前; 随机科研发布了新的文献求助30

4分钟前; 李李原上草完成签到，获得积分0

4分钟前; wanci上传了应助文件

4分钟前; 科目三的应助被随机科研采纳，获得10

4分钟前; 图图发布了新的文献求助10

4分钟前; arsenal发布了新的文献求助10

5分钟前; 桐桐的应助被田20202021采纳，获得10

5分钟前; 香蕉觅云的应助被遍空采纳，获得10

5分钟前; 充电宝的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 桐桐上传了应助文件

5分钟前; 田20202021发布了新的文献求助10

6分钟前; 偌佟完成签到，获得积分10

6分钟前; mochalv123完成签到，获得积分10

6分钟前; 科研通AI5的应助被图南采纳，获得10

6分钟前; 科研通AI5上传了应助文件

6分钟前; 图南发布了新的文献求助10

6分钟前