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标题
Synthesis and growth mechanism of silicon-based nanostructures from polysiloxane via CVD process
CVD法合成硅基纳米结构及其生长机理
相关领域
材料科学 化学气相沉积 化学工程 硅 成核 氮化硅 无定形固体 纳米晶硅 图层（电子） 纳米技术 非晶硅 氮化硅 晶体硅 化学 有机化学 工程类 冶金
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.130804
DOI
10.1016/j.surfcoat.2024.130804 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Krystian Sokołowski; S. Błażewicz; Mateusz Marzec; Andrzej Bernasik; Aneta Frączek-Szczypta
出版日期：2024-04-19
求助人
情怀 在 2025-08-30 15:15:31 发布，悬赏 10 积分
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