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Site-Selective Atomic Layer Precision Thinning of MoS2 via Laser-Assisted Anisotropic Chemical Etching
激光辅助各向异性化学刻蚀MoS2原子层选择性精密减薄
相关领域
材料科学
蚀刻(微加工)
单层
光电子学
激光器
稀释
图层(电子)
各向同性腐蚀
制作
各向异性
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期刊:ACS applied materials & interfaces 作者:Yoonsoo Rho; Jiayun Pei; Letian Wang; Zhe Su; Matthew Eliceiri 出版日期:2019-09-25 |
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