Area‐Selective Atomic Layer Deposition Using Vapor Dosing of Short‐Chain Alkanethiol Inhibitors on Metal/Dielectric Surfaces

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标题	Area‐Selective Atomic Layer Deposition Using Vapor Dosing of Short‐Chain Alkanethiol Inhibitors on Metal/Dielectric Surfaces
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/admi.2021023...
DOI	10.1002/admi.202102364 doi
其它	期刊：Advanced Materials Interfaces 作者：Jeong-Min Lee; Jeong-Min Lee; Ji-Hoon Ahn; Tae Joo Park; Woo-Hee Kim 出版日期：2022-03-25
求助人	2d3y 在 2026-09-15 14:26:12 发布自中国，悬赏 10 积分
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