A Phase Diagram Approach for Predicting Reactions in Al/TiW(-Nitride) Thin-Film Systems

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标题	A Phase Diagram Approach for Predicting Reactions in Al/TiW(-Nitride) Thin-Film Systems
网址	https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/c...
DOI	10.1557/proc-187-15 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：A.S. Bhansali; I.J.M.M. Raaijmakers; R. Sinclair; A.E. Morgan; B.J. Burrow; et al 出版日期：2011-03-06
求助人	sanxiabiu 在 2026-09-03 23:41:14 发布自中国，悬赏 10 积分
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