Three-Dimensional Topography of High-Aspect Ratio Trenches by Sample-Induced Aberration-Compensable Coherence Scanning Interferometry

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标题	Three-Dimensional Topography of High-Aspect Ratio Trenches by Sample-Induced Aberration-Compensable Coherence Scanning Interferometry
网址	https://doi.org/10.1021/acsphotonics.3c01466
DOI	10.1021/acsphotonics.3c01466 doi
其它	期刊：ACS Photonics 作者：Jianqiu Ma; Qun Yuan; Zhishan Gao; Xiao Huo; Zhiyi Xu; et al 出版日期：2024-02-20
求助人	STP顶峰相见在 2026-08-19 16:49:18 发布自天津，悬赏 10 积分
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