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 Mechanistic Insights into Acid Generation from Nonionic Photoacid Generators for Extreme Ultraviolet and Electron Beam Lithography 相关领域
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期刊：Journal of Physical Chemistry A 作者：Chengbin Fu; Jie Xue; Hanshen Xin; Jianhua Zhang; Haoyuan Li 出版日期：2025-09-25 |
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