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 Investigation of spatial distribution of EEPFs and neutral species in nitrogen inductively coupled plasmas by 2D hybrid simulation 相关领域
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期刊：Physics of Plasmas 作者：Jia-Wei Huang; Fang-Jie Zhou; Xiang-Yun Lv; Yu‐Ru Zhang; Fei Gao; et al 出版日期：2023-09-01 |
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