Enhancing defect detection and yield prediction through metrology and inspection data integration

已完结

文献求助详情

标题	Enhancing defect detection and yield prediction through metrology and inspection data integration
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090242
DOI	10.1117/12.3090242 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XL 作者：Chan-gi Jeon; Hyeon-bo Shim; Won-young Cha; Souk Kim; Young-hoon Sohn; et al 出版日期：2026-04-09
求助人	qizhang 在 2026-04-29 15:12:17 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: zyh完成签到，获得积分10

4秒前; 大模型上传了应助文件

4秒前; xiaohu完成签到，获得积分10

4秒前; DD发布了新的文献求助10

9秒前; 雪白梦玉发布了新的文献求助10

10秒前; 王一帆发布了新的文献求助10

13秒前; 852的应助被小熊采纳，获得10

19秒前; Asteria发布了新的文献求助10

27秒前; 852上传了应助文件

29秒前; 蛋卷发布了新的文献求助10

31秒前; 酷波er的应助被axx采纳，获得10

33秒前; 小熊发布了新的文献求助10

36秒前; 桐桐上传了应助文件

37秒前; NexusExplorer的应助被Asteria采纳，获得10

39秒前; 小宋爱睡觉发布了新的文献求助10

42秒前; 酷波er上传了应助文件

44秒前; axx发布了新的文献求助10

49秒前; 英俊的铭上传了应助文件

51秒前; 子车茗的应助被雪白梦玉采纳，获得30

55秒前; 一念莲花舟完成签到，获得积分10

55秒前; 11发布了新的文献求助10

57秒前; ding的应助被Cik采纳，获得10

1分钟前; 雪白梦玉完成签到，获得积分20

1分钟前; Rita上传了应助文件

1分钟前; 希望天下0贩的0的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 英姑的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Narcissus完成签到，获得积分10

1分钟前; 月见完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被小宋爱睡觉采纳，获得10

1分钟前; 在水一方上传了应助文件

2分钟前; JamesPei的应助被屈懿轩采纳，获得10

2分钟前; 独特的不尤完成签到，获得积分10

2分钟前; 摇一摇发布了新的文献求助10

2分钟前; bkagyin的应助被笨笨烨华采纳，获得10

2分钟前; JamesPei上传了应助文件

2分钟前; 屈懿轩完成签到，获得积分10

2分钟前; 屈懿轩发布了新的文献求助10

2分钟前; ding上传了应助文件

2分钟前; hin发布了新的文献求助10

2分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

2分钟前