| 标题 |
Three-dimensional deep sub-wavelength defect detection using λ = 193 nm optical microscopy |
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| DOI |
10.1364/oe.21.026219
doi
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| 其它 |
期刊:Optics Express 作者:Bryan M. Barnes; Martin Y. Sohn; Francois Goasmat; Hui Zhou; András E. Vladár; et al 出版日期:2013-10-26 |
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