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Design of a high-resolution low-voltage scanning electron microscope
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Author ZACH, J1 [1] Tech. hochschule Darmstadt, inst. angewandte physik, Darmstadt 6100, Germany Source Optik (Stuttgart). 1989, Vol 83, Num 1, pp 30-40 ; ref : 13 ref CODEN OTIKAJ ISSN 0030-4026 Scientific domain Optics Publisher Elsevier, Jena Publication country Germany Document type Article Language English |
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(2025-6-4)
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