Modeling and experimental verification of the 300mm Ar anneal process

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标题	Modeling and experimental verification of the 300mm Ar anneal process
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092151070...
DOI	10.1016/j.mseb.2005.08.103 doi
其它	期刊：Materials Science and Engineering: B 作者：T. Müller; R. Wahlich; P. Krottenthaler; J. Studener; A. Kühhorn; et al 出版日期：2005-11-07
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