Micro-structure Transformation of Silicon: A Newly Developed Transformation Technology for Patterning Silicon Surfaces using the Surface Migration of Silicon Atoms by Hydrogen Annealing

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标题	Micro-structure Transformation of Silicon: A Newly Developed Transformation Technology for Patterning Silicon Surfaces using the Surface Migration of Silicon Atoms by Hydrogen Annealing
网址	http://dx.doi.org/10.1143/jjap.39.5033
DOI	10.1143/jjap.39.5033 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Tsutomu Sato; Kunihiro Mitsutake; Ichiro Mizushima; Yoshitaka Tsunashima 出版日期：2000-09-01
求助人	EV 在 2026-10-18 23:47:44 发布自上海，悬赏 10 积分
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