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标题
High resolution electron beam lithography of PMGI using solvent developers
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793170...
DOI
10.1016/j.mee.2008.01.008 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Bo Cui; Teodor Veres
出版日期：2008-01-20
求助人
张学米 在 2026-06-16 22:43:23 发布自安徽，悬赏 10 积分
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