| 标题 |
Area-selective atomic layer deposition of Ru thin films by chemo-selective inhibition of alkyl aldehyde molecules on nitride surfaces |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Applied Surface Science 作者:Jinseon Lee; Jieun Oh; Jiwon Kim; Hongjun Oh; Bonggeun Shong; et al 出版日期:2024-04-12 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)