Signal-to-noise ratio evaluation for the nanometer-scale patterned defect inspection using dark-field microscopy with tailored polarization illumination

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标题	Signal-to-noise ratio evaluation for the nanometer-scale patterned defect inspection using dark-field microscopy with tailored polarization illumination
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2567116
DOI	10.1117/12.2567116 doi
其它	期刊：Reflection, Scattering, and Diffraction from Surfaces VII 作者：Akinori Ohkubo; Janghwi Lee; Hyungu Kim; Jiyoung Chu; Sungho Jang; et al 出版日期：2020-08-20
求助人	Alan 在 2026-07-16 19:48:16 发布自江苏，悬赏 20 积分
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