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标题
Stress relaxation and structural evolution of tetrahedral amorphous carbon hard masks during rapid thermal annealing
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092596352...
DOI
10.1016/j.diamond.2026.113864 doi
其它 期刊：Diamond and related materials
作者：V. Q. Dinh; Donny Lai Jiancheng; Sihang Shao; Ying Li; Jacob Lim Song Kiat; et al
出版日期：2026-08-01
求助人
leo_twli 在 2026-08-13 16:52:18 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 3小时前

    Kao Kao Lv1256 上传了文件

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  • 1天前

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  • 1天前

    leo_twli leo_twli Lv4 求助人 发起了本次求助

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