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标题
Topography simulations for contact formation involving reactive ion etching, sputtering and chemical vapor deposition
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.1924609
DOI
10.1116/1.1924609 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：S. Takagi; S. Onoue; K. Iyanagi; K. Nishitani; T. Shinmura
出版日期：2005-05-01
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封号四犸 在 2026-08-14 20:56:57 发布自河南，悬赏 10 积分
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  • 13天前，求助关闭

    封号四犸 封号四犸 Lv1 求助人 关闭了本次求助。

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  • 13天前

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  • 13天前

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