Deep-learning-driven automation of inner and outer object segmentation in SEM/TEM imaging for semiconductor metrology

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标题	Deep-learning-driven automation of inner and outer object segmentation in SEM/TEM imaging for semiconductor metrology
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.24.4.041406
DOI	10.1117/1.jmm.24.4.041406 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Isaac Wilfried Sanou; Julien Baderot; Vincent Barra; Ali Hallal; Léo Mazauric; et al 出版日期：2025-10-09
求助人	舒服的幼荷在 2026-09-21 21:23:35 发布自美国，悬赏 20 积分
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