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 MEMS capacitive pressure sensor: analysis, theoretical modeling, simulation and performance comparison of the effect of a conical notch MEMS电容式压力传感器：锥形缺口效应的分析、理论建模、仿真和性能比较
相关领域
微电子机械系统
锥面
电容感应
材料科学
汽车工程
计算机科学
机械工程
工程类
电气工程
光电子学
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| 其它 |
期刊：Engineering Research Express 作者：Rukshana Bi Gajula; S. Mahata; Akhila Pingali; Sumit Kumar Jindal 出版日期：2024-10-29 |
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