面向22纳米及以下技术代CMOS器件的N型金属栅的原子层沉积技术研究 - 科研通

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标题	面向22纳米及以下技术代CMOS器件的N型金属栅的原子层沉积技术研究
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	项金娟，中国科学院大学，2016，博士论文
求助人	Ryan 在 2025-06-18 10:41:41 发布自河北，悬赏 10 积分
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Oxford University Press

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