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标题
Synthesis of Al2O3@MnO2 composite abrasives and their chemical mechanical polishing performance on silicon carbide (SiC)
Al2O3@MnO2复合磨料的合成及其对碳化硅（SiC）的化学机械抛光性能
相关领域
材料科学 化学机械平面化 磨料 碳化硅 复合数 扫描电子显微镜 抛光 复合材料 薄脆饼 表面粗糙度 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.03.120
DOI
10.1016/j.ceramint.2024.03.120 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Peijia Zhang; Hong Lei; Zefang Zhang; Jianhua Zhang; Shi-Dong Chen; et al
出版日期：2024-03-12
求助人
hug 在 2025-12-06 16:04:15 发布自河北，悬赏 10 积分
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