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Synthesis of Al2O3@MnO2 composite abrasives and their chemical mechanical polishing performance on silicon carbide (SiC)
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作者
Peijia Zhang,
Hong Lei,
Zefang Zhang,
Jianhua Zhang,
Shi-Dong Chen,
Xiaogang Hu
出处
期刊:
Ceramics International
[Elsevier BV]
日期:2024-03-12
卷期号:50 (11): 19935-19944
被引量:22
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.03.120
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