Synthesis of Al2O3@MnO2 composite abrasives and their chemical mechanical polishing performance on silicon carbide (SiC)

材料科学 化学机械平面化 磨料 碳化硅 复合数 扫描电子显微镜 抛光 复合材料 薄脆饼 表面粗糙度 纳米技术
作者
Peijia Zhang,Hong Lei,Zefang Zhang,Jianhua Zhang,Shi-Dong Chen,Xiaogang Hu
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:50 (11): 19935-19944 被引量:22
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.03.120
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