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Transient analysis and process optimization of the spatial atomic layer deposition using the dynamic mesh method
基于动态网格法的空间原子层沉积瞬态分析及过程优化
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网址
https://doi.org/10.1016/j.ces.2020.115513
DOI
10.1016/j.ces.2020.115513 doi
其它 期刊：Chemical Engineering Science
作者：Wentao Cong; Zoushuang Li; Kun Cao; Guang Feng; Rong Chen
出版日期：2020-05-01
求助人
aafrr 在 2025-11-26 10:01:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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