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Enhanced InAs phase formation in the In- and As-implanted SiO2 films covered with Si3N4 layers 相关领域
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期刊:Materials Letters 作者:I. E. Tyschenko; Zhongbin Si; В. А. Володин; S. G. Cherkova; V. P. Popov 出版日期:2023-02-10 |
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