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 The relationship between the Young’s modulus and dry etching rate of polydimethylsiloxane (PDMS) 聚二甲基硅氧烷(PDMS)的杨氏模量与干法刻蚀速率的关系
相关领域
聚二甲基硅氧烷
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期刊：Biomedical Microdevices 作者：Matthew L. Fitzgerald; Sara Tsai; Leon M. Bellan; Rebecca M. Sappington; Ya‐Qiong Xu; et al 出版日期：2019-03-01 |
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