Ab-initio investigation of fundamental reaction mechanisms, environmental effects and EUV reactivity of Sn-based metal oxide photoresists

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标题	Ab-initio investigation of fundamental reaction mechanisms, environmental effects and EUV reactivity of Sn-based metal oxide photoresists
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090445
DOI	10.1117/12.3090445 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者：Nishat Liza; Kazuki Yamada; Ankur Agarwal; Ihsan Simms; Ryan Burns; et al 出版日期：2026
求助人	皮三问在 2026-04-16 16:11:06 发布自上海，悬赏 20 积分
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