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Advances in Graphene Based MEMS and Nems Devices: Materials, Fabrication, and Applications
相关领域
纳米机电系统 材料科学 微电子机械系统 石墨烯 压阻效应 纳米技术 光电子学 制作 谐振器 薄脆饼 蚀刻(微加工) 图层(电子) 纳米颗粒 病理 医学 替代医学 纳米医学
网址
DOI
10.1149/10701.10997ecst doi
其它 期刊:ECS Transactions
作者:L Saipriya; Akepati Deekshitha; Shreya Shreya; Shubhika Verma; C. Swathi; et al
出版日期:2022-04-24
求助人
zg 在 2026-04-23 10:02:31 发布自浙江,悬赏 10 积分
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