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 Measurement and Analysis of Longitudinal and Transversal Effective Piezoelectric Coefficients (d33,f and e31,f) in 100 nm-500 nm Sc0.3Al0.7N films 100nm-500nm Sc0.3Al 0.7 N薄膜纵向和横向有效压电系数（d33，f和e31，f）的测量与分析
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期刊：2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 作者：Chen Liu; Binni Varghese; Patrick Peng Liu; Huamao Lin; Minghua Li; Yao Zhu 出版日期：2023-11-08 |
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