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 Fabrication of large-area uniform silicon nanohole arrays with high aspect ratio by ultrasound-enhanced metal-assisted chemical etching 超声增强金属辅助化学刻蚀制备大面积均匀高纵横比硅纳米孔阵列
相关领域
材料科学
制作
蚀刻（微加工）
硅
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金属
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医学
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Jiecai Long; Chenglong Xie; Xuan Zhang; Haojun Zhang; Xun Chen; et al 出版日期：2025-07-01 |
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