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标题
High-Mobility Thin-Film Transistors with Polycrystalline In–Ga–O Channel Fabricated by DC Magnetron Sputtering
直流磁控溅射制备In-Ga-O多晶沟道高迁移率薄膜晶体管
相关领域
薄膜晶体管 材料科学 微晶 光电子学 溅射沉积 阈值电压 薄膜 粒度 晶体管 图层(电子) 溅射 电气工程 电压 冶金 纳米技术 工程类
网址
DOI
10.1143/APEX.5.011102 doi
其它 期刊:Applied Physics Express
作者:K. Ebata; Shigekazu Tomai; Yuki Tsuruma; Takashi Iitsuka; Shigeo Matsuzaki; et al
出版日期:2012-01-01
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去瞧瞧 在 2025-10-20 17:24:33 发布自广西,悬赏 10 积分
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