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标题
Deep wet etching-through 1mm pyrex glass wafer for microfluidic applications
用于微流体应用的1mm pyrex玻璃晶片深度湿法蚀刻
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网址
http://dx.doi.org/10.1109/memsys.2007.4433150
DOI
10.1109/memsys.2007.4433150 doi
求助人
bismarck7 在 2025-09-08 13:15:28 发布自美国，悬赏 10 积分
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