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标题
Dielectric properties investigation of a compound based on atomic layer deposited multi-layer structure
基于原子层沉积多层结构的化合物介电性能研究
相关领域
电介质 材料科学 原子层沉积 电容器 高-κ电介质 钽 氧化物 等效氧化层厚度 图层（电子） 金属 分析化学（期刊） 光电子学 复合材料 栅氧化层 冶金 化学 电气工程 晶体管 工程类 色谱法 电压
网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.157713
DOI
10.1016/j.jallcom.2020.157713 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：A. M. Mumlyakov; М.В. Шибалов; I. V. Trofimov; Maksim G. Verkholetov; А. П. Орлов; et al
出版日期：2020-11-22
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zzz 在 2025-08-05 02:26:27 发布，悬赏 10 积分
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