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 Dielectric Constant Enhancement and Leakage Current Suppression of Metal–Insulator–Metal Capacitors by Atomic Layer Annealing and the Capping Layer Effect Prepared with a Low Thermal Budget 低热预算制备的原子层退火和覆盖层效应提高金属-绝缘体-金属电容器的介电常数和抑制漏电流
相关领域
材料科学
电介质
退火（玻璃）
高-κ电介质
电容器
结晶度
氧化物
等效氧化层厚度
原子层沉积
薄膜
氮化物
光电子学
泄漏（经济）
复合材料
图层（电子）
纳米技术
栅氧化层
电气工程
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期刊：ACS applied electronic materials 作者：Chun-Yuan Wang; Hung-Chih Huang; Chun-Yi Chou; Hsing-Yang Chen; Chen-Hsiang Ling; et al 出版日期：2023-04-17 |
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