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标题
[高分] Stochastic Modeling and Local CD Uniformity Comparison between Negative Metal-Based, Negative- and Positive-Tone Development EUV Resists
负金属基、负色调和正色调显影EUV抗蚀剂的随机建模和局部CD均匀性比较
相关领域
抵抗 极紫外光刻 材料科学 纳米技术 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1587/transele.2021ecp5010
DOI
10.1587/transele.2021ecp5010 doi
其它 期刊：IEICE Transactions on Electronics
作者：Itaru Kamohara; Ulrich Welling; Ulrich Klostermann; Wolfgang Demmerle
出版日期：2021-08-05
求助人
wjr 在 2025-10-27 07:39:25 发布自宁夏，悬赏 150 积分
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