<title>alpha-C:H films for photonic structure fabrication</title>

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标题	<title>alpha-C:H films for photonic structure fabrication</title> 用于光子结构制造的α-C：H薄膜相关领域反应离子刻蚀蚀刻（微加工）材料科学基质（水族馆）硅石墨分析化学（期刊）各向异性纳米技术光学光电子学化学物理复合材料地质学海洋学图层（电子）色谱法
网址	https://doi.org/10.1117/12.417614
DOI	10.1117/12.417614 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：V. Kopustinskas; V. Grigaliūnas; Dalius Jucius; Šarūnas Meškinis; Mindaugas Margelevičius; et al 出版日期：2001-03-08
求助人	小二郎在 2025-10-29 07:41:24 发布自山东，悬赏 20 积分
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