Structural, optical and dielectric characterization of Au/HfO2/(Pt,TiN) capacitors - 科研通

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标题	Structural, optical and dielectric characterization of Au/HfO2/(Pt,TiN) capacitors 相关领域材料科学正交晶系光致发光无定形固体微晶拉曼光谱分析化学（期刊）电介质单斜晶系光谱学高分辨率透射电子显微镜介电常数介电谱拉曼散射微观结构极化（电化学）电极表面粗糙度薄膜光电子学相对介电常数表面状态谱线发射光谱分子物理学色散（光学）
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2017.10.061
DOI	10.1016/j.tsf.2017.10.061 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：F. El Kamel; Z. Ben Cheikh; M.A. Soussou; A. Moadhen; K. Khirouni 出版日期：2017-11-09
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