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 Characterization and Compensation of Detection Electrode Errors for Whole-Angle Micro-Shell Resonator Gyroscope 全角微壳谐振陀螺检测电极误差的表征与补偿
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Jiangkun Sun; Sheng Yu; Yongmeng Zhang; Yan Shi; Kun Lu; et al 出版日期：2021-11-02 |
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