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 Advancements in space-based NUV spectrography: precision fabrication and evaluation of an optical slit using optical lithography and deep reactive ion etching 相关领域
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蚀刻（微加工）
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平版印刷术
反应离子刻蚀
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期刊： 作者：Binukumar G. Nair; Bharat P. Chandra; Margarita Safonova; Sabiha Sultana; Yadhukrishnan SV; et al 出版日期：2024-06-17 |
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