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标题
Advancements in space-based NUV spectrography: precision fabrication and evaluation of an optical slit using optical lithography and deep reactive ion etching
相关领域
制作 蚀刻（微加工） 狭缝 平版印刷术 反应离子刻蚀 材料科学 光学 光刻 深反应离子刻蚀 光电子学 纳米技术 物理 病理 医学 图层（电子） 替代医学
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3018622
DOI
10.1117/12.3018622 doi
其它 期刊：
作者：Binukumar G. Nair; Bharat P. Chandra; Margarita Safonova; Sabiha Sultana; Yadhukrishnan SV; et al
出版日期：2024-06-17
求助人
平等创死每一个人 在 2026-01-05 10:16:18 发布自黑龙江，悬赏 20 积分
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