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 Design and Analysis of SAW Gas Sensor Utilizing AIN/Diamond/Si Multilayered Structure for VOCs Detection 用于VOCs检测的AIN/金刚石/硅多层结构声表面波气体传感器的设计与分析
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期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Ziad Abu Waar; Mohamed Moustafa 出版日期：2024-07-13 |
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