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标题
Atomic simulation of the mechanism for GaN removal by coupling texture depth and grinding depth under water lubrication conditions
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2026.110603
DOI
10.1016/j.mssp.2026.110603 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Houfu Dai; Zhihao Shang; Yanguang Zhou; Ze Liu; Bouachanh Sihavong; et al
出版日期：2026-07-01
求助人
顺心幻天 在 2026-09-17 16:46:55 发布自北京，悬赏 10 积分
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