Stress control in thick hydrogenated amorphous carbon films to mitigate stress-induced defects in semiconductor processes

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标题	Stress control in thick hydrogenated amorphous carbon films to mitigate stress-induced defects in semiconductor processes
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060902...
DOI	10.1016/j.tsf.2025.140635 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：M. Ahn; Se Jun Park; B. Shim; Seungmin Moon; Song Yi Baek; et al 出版日期：2025-02-01
求助人	默默新儿在 2026-09-16 23:19:51 发布自安徽，悬赏 10 积分
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