Antireflective Silicon Nanostructures Fabricated by Cheap Chemical Etchant and Coated by Atomic Layer Deposited Al 2 O 3 Layer

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标题	专利、报告等 Antireflective Silicon Nanostructures Fabricated by Cheap Chemical Etchant and Coated by Atomic Layer Deposited Al 2 O 3 Layer
网址	http://dx.doi.org/10.1002/9781118658468.ch28
DOI	10.1002/9781118658468.ch28 doi
其它	期刊：EPD Congress 2013 作者：Zhihao Yue; Honglie Shen; Ye Jiang; Yahui Teng 出版日期：2013-01-30
求助人	Glacier 在 2026-08-24 22:54:48 发布自江西，悬赏 10 积分
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