Fast magnetron sputtering of LiPON from carbon-doped Li3PO4 target

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标题	Fast magnetron sputtering of LiPON from carbon-doped Li3PO4 target
网址	https://doi.org/10.1016/j.ssi.2025.116957
DOI	10.1016/j.ssi.2025.116957 doi
其它	期刊：Solid State Ionics 作者：Nicolas Osenciat; Erica D. Clinton; Joel Casella; Alessia Romio; André Müller; et al 出版日期：2025-07-15
求助人	D调的华丽在 2026-07-07 19:46:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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