Fabrication of three-dimensional silicon structure with smooth curved surfaces - 科研通

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标题	Fabrication of three-dimensional silicon structure with smooth curved surfaces
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.15.3.034503
DOI	10.1117/1.jmm.15.3.034503 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 作者：Shengfeng Deng; Yulong Zhang; Shusen Jiang; Miao Lu 出版日期：2016-08-09
求助人	junc 在 2026-08-03 11:05:34 发布自江苏，悬赏 20 积分
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