Ultralow line edge roughness of hybrid multilayer Extreme ultraviolet resist with vertical molecular wire structure

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标题	Ultralow line edge roughness of hybrid multilayer Extreme ultraviolet resist with vertical molecular wire structure
网址	https://doi.org/10.1016/j.mattod.2025.04.007
DOI	10.1016/j.mattod.2025.04.007 doi
其它	期刊：Materials Today 作者：Jaehyuk Lee; Hyeonseok Ji; Chawon Koh; Juyeong Lee; Ji-Hoo Seok; et al 出版日期：2025-04-24
求助人	Li 在 2026-08-03 00:05:20 发布自安徽，悬赏 10 积分
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